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半导体生产量检测重要性强，难度大技术壁垒高：测量（Metrology）与缺陷检测（Inspection）两大类设备，运用在半导体生产的几乎各个工艺环节中。集成电路不断向尺寸微缩化、结构3D 化发展，生产过程中良率压力增大，量检测设备重要性凸显。相比其他半导体设备，量检测设备采用大量复杂光学原理，技术门槛更高，单机价值量与技术附加值更大。

量检测市场规模大自主率低，国产替代方兴未艾：量检测设备占比半导体设备整体比例约为13%。2022 全球市场规模超800 亿人民币，中国国内市场规模2021 年约为176 亿人民币。相比于KLA 等国际先行者，国内企业起步较晚，2020 量检测设备整体国产化率不及2%，具备很大的成长空间。

中科飞测自研核心技术，多维度创新突破：中科飞测通过多年自主研发，在量检测领域实现多项突破，掌握了光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等9 项核心技术。通过持续积累与改进，公司的部分设备在灵敏度、重复性精度、吞吐量等关键的性能指标上已比肩海外竞争者。2022 年中科飞测实现营收5.09 亿元，是国内半导体量检测领域规模最大的公司。

客户群优质产品线丰富，为公司发展提供持续动力：公司已成功研发出无图形、有图形检测、三维形貌、膜厚测量等多种设备产品，开拓了中芯国际、长江存储、长电科技、华天科技等重要客户。此外，公司多款新型设备正在密集研发中，未来有望贡献更大收益。海外风险加速国产量检测设备导入进程，中科飞测有望率先受益。

投资建议：基于中科飞测各类设备的研发与量产进度，我们预计公司2023-2025 年实现营业收入6.98/9.81/13.85 亿元，归母净利润0.27/0.64/0.93 亿元。

风险提示：行业景气度下行，客户需求放缓；研发进度不及预期；行业竞争加剧。